只是从来都没有发现罢了!
刘益民震惊的同时。
发觉后面还有许多新奇的设计。
这都是他们之前无法想象的存在!
可是现在都被江逸一一解开。
从二维单晶石墨烯材料。
到紫外光以及碳的光学特性。
等等方面。。。。。。全部被他计算在内。
不过,当刘益民看见紫外光的时候。
他的眉头不由自主的就皱了起来。
忍不住提醒道。
“江教授,我觉得你这里有点问题。”
“紫外光的强度,按照你说的计划会成倍增加。”
“但是因为碳的光学特性,使它吸收的更多。”
“这样原本激光光源,可能达不到要求。”
江逸听到前者的话。
顿时忍不住感叹!
对方不愧是光电所的所长。
在芯片研究方面,了解的知识还真不少。
就连提出的问题也非常刁钻!
能够直接一针见血!
但江逸并不担心。
反倒毫不犹豫回答道。
“为了实现高强度的光刻。”
“我们可使用波长更短,更加锋利的紫外光。”
听到这里,刘益民满脸都是疑惑。
什么叫更锋利的紫外光?
难不成紫外光也还能进步?
江逸笑着回答道。
“没错。”
“目前从研究上看。”
“紫外光的波长范围在10~216纳米之间。”
“之前使用的光源,在197纳米的深紫外光。”
“现在光刻机使用的。”
“都是13。5纳米的极限紫外光。”
“但是这同样无法达到我们的要求。”